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  • VAD合成石英HOSQ-032
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  • VAD合成石英HOSQ-032

    以四氟化硅為原料,采用VAD法制造,具有低羥基、低金屬雜質(zhì)含量等特性,吸收系數(shù)低,光學(xué)均勻性好,可用于IC光掩膜基板、工業(yè)激光聚焦準(zhǔn)直鏡、激光光纖端帽、高能激光光學(xué)元件的制造。

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商品描述

以四氟化硅為原料,采用VAD法制造,具有低羥基、低金屬雜質(zhì)含量等特性,吸收系數(shù)低,光學(xué)均勻性好,可用于IC光掩膜基板、工業(yè)激光聚焦準(zhǔn)直鏡、激光光纖端帽、高能激光光學(xué)元件的制造。


產(chǎn)品指標(biāo)


型號

金屬雜質(zhì)

(ppb))

羥基

(ppm)

均勻性條紋

應(yīng)力雙折射

(nm/cm)

尺寸

(mm)

波段

(nm)

HOSQ-031<100<1

I級:<5×10-6

II級:<10×10-6

III級:<20×10-6

3D<5

D100

D300

190-3200

備注:可根據(jù)使用尺寸定制生產(chǎn)方案

金屬雜質(zhì)含量


單位:ppb

AlBaCaCrCoCuFeKLiMgMn
NiNaTi含金量
<5<5<5<2<2<2<5<5<5<5<2<2<5<5<100


光學(xué)非均勻性


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